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全自动探针台的校准操作步骤

发布时间:2026/2/6 8:03:57品牌推荐

  全自动探针台采用新开发的专有XY驱动系统,实现了高速,低振动。与现有产品相比,考虑到环境因设计变化而实现的占地面积小,功耗降低10%。本文将详细介绍如何对国产探针台进行调校与定位。
  1. 准备工作
  在进行任何调校与定位之前,首先需要做好充分的准备工作:
  检查设备状态:确保探针台已正确连接电源,并且没有明显的物理损坏。
  清理工作环境:保持测试环境的整洁,确保工作台面没有杂物,以防止外界干扰。
  准备必要工具:如螺丝刀、水平仪、显微镜等辅助工具,帮助完成调校过程。
  2. 调校步骤
  调校探针台主要包括以下几个关键步骤:
  2.1 确认水平
  使用水平仪检查探针台是否处于水平状态。确保设备稳固,减少因倾斜带来的误差。
  步骤:
  在的不同位置放置水平仪,观察气泡是否在中心位置。
  若发现水平不准确,调整支脚或底座,使其水平。
  2.2 设置基准面
  设置基准面是为了确保所有测量的起点一致。可以使用标准样板或参考工件:
  步骤:
  将标准样板放置在探针台的中心位置。
  在软件中设置该样板为参考点。
  2.3 定位探针
  根据被测样品的特性,调整探针的高度与角度,以确保其能够准确接触到样品的测试点。
  步骤:
  先松开探针的固定螺丝。
  通过手动或电子调节方式,逐步降低探针接近样品,确认探针尖部的位置。
  使用显微镜观察探针与样品的接触情况,确保探针尖部正好接触到测试点。
  2.4 调整探针压力
  过大的压力可能会导致探针损坏或样品损坏,而过小的压力又可能导致接触不良。因此,调整探针的压力至关重要。
  步骤:
  在软件中设置探针接触压力,一般建议设置在适中的范围。
  进行初步测试,观察探针是否能够稳定地保持与样品的接触。
  2.5 验证调校效果
  在完成初始调校与定位后,进行一系列验证测试,以确保所有参数设置都正确无误。
  步骤:
  多次进行测量,在不同区域测试,以确认探针的重复性与准确性。
  记录测试数据,与预期结果进行对比,确保符合规范。

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